2025年1月28-30日，為期三日的美國西部光電展（SPIE PHOTONICS WEST 2025）成功落下帷幕，福晶科技在展會上為來自世界各地的光電行業(yè)從業(yè)者展示了最新的晶體、精密光學(xué)元件及激光器件的產(chǎn)品與技術(shù)，并就行業(yè)前沿訊息進(jìn)行了交流與學(xué)習(xí)。讓我們來一睹福晶科技在展會上的閃耀瞬間吧！
現(xiàn)場交流
2025年1月28-30日，為期三日的美國西部光電展（SPIE PHOTONICS WEST 2025）成功落下帷幕，福晶科技在展會上為來自世界各地的光電行業(yè)從業(yè)者展示了最新的晶體、精密光學(xué)元件及激光器件的產(chǎn)品與技術(shù)，并就行業(yè)前沿訊息進(jìn)行了交流與學(xué)習(xí)。讓我們來一睹福晶科技在展會上的閃耀瞬間吧！
現(xiàn)場交流
特別值得一提，此次展會上，福晶科技展示了“基于二維聲光偏轉(zhuǎn)器（2D-AOD）的非慣性掃描裝置”，通過現(xiàn)場演示，向到訪者介紹了聲光偏轉(zhuǎn)器的應(yīng)用與特色。
聲光偏轉(zhuǎn)器的介紹及應(yīng)用
聲光偏轉(zhuǎn)器（Acousto-optic Deflectors ，AOD）是一款基于聲光效應(yīng)的新型高速激光偏轉(zhuǎn)器件，原理是通過超聲波形成布拉格衍射光柵，改變超聲波頻率進(jìn)而改變光柵常數(shù)來實(shí)現(xiàn)衍射光衍射角度的變化，從而實(shí)現(xiàn)光束偏轉(zhuǎn)。
AOD具有納弧度級精度控制和無慣性偏轉(zhuǎn)特性，可完成大區(qū)域內(nèi)激光連續(xù)線掃描、順序點(diǎn)掃描及隨機(jī)跳躍式掃描等多種掃描模式，覆蓋266 nm-10.6μm波段，響應(yīng)時(shí)間≤500 ns。
協(xié)同振鏡可實(shí)現(xiàn)高速、動態(tài)和超高精準(zhǔn)定位的激光微加工，如精密電子元器件的微孔、盲孔制備等。此外，配合擴(kuò)束鏡，場鏡等系統(tǒng)，還廣泛應(yīng)用于高速雙光子顯微成像、激光雷達(dá)、激光顯示、晶圓檢測、離子阱系統(tǒng)尋址等諸多領(lǐng)域。?
應(yīng)用介紹
1、激光微加工領(lǐng)域
隨著激光單脈沖能量和脈沖重復(fù)頻率的不斷提高，傳統(tǒng)的機(jī)械式光偏轉(zhuǎn)技術(shù)受自身機(jī)械慣性的影響，響應(yīng)時(shí)間和掃描速度局限于亞毫秒級，很難滿足高重頻激光器的脈沖分離條件，制約了高速激光加工系統(tǒng)的能量利用率和加工速度。AOD掃描光束方向穩(wěn)定性受射頻信號控制，與振鏡協(xié)同，集成聲光偏轉(zhuǎn)器高速、精確掃描和振鏡大范圍掃描的優(yōu)勢，補(bǔ)償振鏡的慣性限制，實(shí)現(xiàn)激光精密制造效率的大幅提升。
2、晶圓缺陷檢測系統(tǒng)
伴隨大規(guī)模的電路集成化及晶圓制造復(fù)雜化，晶圓缺陷尺寸變小，對晶圓缺陷檢測量測設(shè)備的精度要求也越來越高。scan-AOD和chirp-AOD（實(shí)現(xiàn)聚焦變焦功能）可實(shí)現(xiàn)高速、高精度光束掃描收集檢測圖像，通過圖像分析識別晶圓表面的微小缺陷，如顆粒、裂紋、劃痕等，以即時(shí)監(jiān)控工藝的穩(wěn)定情況，提高生產(chǎn)效率及產(chǎn)品質(zhì)量。
3、生物細(xì)胞檢測
相較于傳統(tǒng)流式細(xì)胞術(shù)只能憑借簡單的特性來分離細(xì)胞，新型高速成像的細(xì)胞分選（image-enabled cell sorting，ICS）技術(shù)可以捕捉和分析高分辨率的細(xì)胞快速連拍，從而能夠根據(jù)圖像數(shù)據(jù)中的特征（如蛋白質(zhì)和生物標(biāo)記物在細(xì)胞中的定位位置）來分離細(xì)胞，并增加了多色熒光顯微成像的功能。這些特征提供了細(xì)胞內(nèi)部運(yùn)作的豐富信息，而這是先前的流式細(xì)胞儀無法觀察到的。
聲光偏轉(zhuǎn)器在ICS中熒光成像技術(shù)至關(guān)重要，可在核心液流中產(chǎn)生的線性光束陣列，實(shí)現(xiàn)高速流動的細(xì)胞無模糊成像，配合信號分析系統(tǒng)用來高速探測細(xì)胞空間特征，有效提高細(xì)胞通量，實(shí)現(xiàn)單細(xì)胞分選功能。
4、光鑷
光鑷是基于單光束梯度力光阱對納米至微米級的粒子進(jìn)行操縱和捕獲的技術(shù)，微小粒子受光壓被束縛在三維勢阱處，通過AOD控制光阱的位置和強(qiáng)度實(shí)現(xiàn)微小位移。作為一種高精度的非接觸式操控技術(shù)，對于捕獲微小粒子、測量微小作用力及生產(chǎn)微小器件等許多方面都有非常重要的意義，如：揭示運(yùn)動蛋白作用、RNA折疊和染色體運(yùn)動機(jī)制、冷原子捕獲等領(lǐng)域有著重要應(yīng)用。
5、激光雷達(dá)
汽車?yán)走_(dá)需要兩個(gè)連續(xù)成像點(diǎn)之間執(zhí)行快速波束重指向，以實(shí)現(xiàn)高速的三維成像。將AOD與相位梯度超表面級聯(lián)，AOD作為窄角度掃描模塊，能夠達(dá)到兆赫茲波束重指向頻率的極高掃描速度，而級聯(lián)的超表面作為視場擴(kuò)展器可進(jìn)一步提高AOD的視場。
6、激光直寫
傳統(tǒng)固定光源與位移臺移動的激光直寫技術(shù)，斜向與圓弧結(jié)構(gòu)的刻寫會產(chǎn)生鋸齒狀結(jié)構(gòu)，機(jī)械結(jié)構(gòu)會影響結(jié)構(gòu)質(zhì)量，且限制了刻寫速度。AOD控制可在此基礎(chǔ)上快速調(diào)節(jié)光斑位置與強(qiáng)度，提高各種結(jié)構(gòu)的邊緣平滑度，避免位移臺移動造成的結(jié)構(gòu)影響。因AOD技術(shù)的超高精度，當(dāng)其與位置追蹤系統(tǒng)配合時(shí)，可對基底上的對準(zhǔn)位置實(shí)現(xiàn)高精度套刻。
7、雙光子顯微鏡
雙光子顯微技術(shù)成為生物學(xué)探索研究神經(jīng)元功能方向的一項(xiàng)重要技術(shù)，該技術(shù)穿透深度大，立體選擇性強(qiáng)，已成功應(yīng)用于活體動物的神經(jīng)計(jì)算?；谌S聲光偏轉(zhuǎn)的雙光子顯微鏡實(shí)現(xiàn)了三維高效成像，由一個(gè)二維聲光偏轉(zhuǎn)器（2D-AOD）和一套聲光透鏡（實(shí)際為一組啁啾可變焦功能的AOD）組成，可以在三維空間中快速地引導(dǎo)和聚焦雙光子顯微鏡的激光束?；谶@種色散補(bǔ)償?shù)腁OD掃描雙光子顯微鏡，提供了更快和更靈活的成像速率。
福晶科技產(chǎn)品
1、高分辨率偏轉(zhuǎn)器使用二氧化碲聲切變波模式操作，提供大掃描角度，高分辨率和更大的孔徑達(dá)10.0 mm；可提供高精度和準(zhǔn)確性，可應(yīng)用于光學(xué)鑷子，生物醫(yī)學(xué)診斷等。器件有一維和二維兩種模式可選。
2、石英和二氧化碲聲縱波產(chǎn)品，掃描速度更快；其中石英產(chǎn)品損傷閾值大，適用于大功率激光的激光微加工領(lǐng)域，有效口徑≥7mm；氧化碲產(chǎn)品優(yōu)勢在于適用于任意線偏振光，提高使用靈活性，有效口徑≥4mm；器件有一維和二維兩種模式。
參考文獻(xiàn)：
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[4] Katona, Gergely , et al. "Fast two-photon in vivo imaging with three-dimensional random-access scanning in large tissue volumes." Nature Methods 9.2(2012):201-208.
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下屆展會時(shí)間：2026年01月17號~01月22號
展會行業(yè)：光電
